单频准分子激光，是脉冲气体激光，在电流通过时被激活，释放出某一波长的单色光。气体是由惰性气体和卤素混合而成，激活的惰性气体和卤素可形成卤化物 “Ｅｘｃｉｍｅｒ”一词来自激态分子的意思，即受激态准分子是一种激态二聚体“Ｅｘｃｉｍｅｒ Ｄｉｍｅｒ”，这两个单词组合成 “Ｅｘｃｉｍｅｒ”。
目前应用的单频准分子激光主要有以下几种：氩氟（ＡｒＦ）准分子激光 波长１９３ ｎｍ；氪氟（ＫｒＦ）准分子激光 波长２４８ ｎｍ；氙氯（ＸｅＣｌ）准分子激光 波长３０８ ｎｍ； 氙氟（ＸｅＦ）准分子激光 波长３５１ ｎｍ等。单频准分子激光是连续的脉冲气体激光，释放的光波长在紫外线范围内，脉冲宽度为１０～３０ ｎｓ，频率为０～３５ Ｈｚ，４种单频准分子激光的波长为气体特异性的。
