1. 氧化物：
一氧化硅，二氧化铪，二氧化锆，二氧化钛，一氧化钛，二氧化硅，三氧化二钛，五氧化三钛，五氧化二钽，五氧化二铌，三氧化二铝，三氧化二钪，三氧化二铟，二氧化硅，二钛酸镨，二氧化铈，氧化镁，三氧化钨，氧化钐，氧化钕，氧化铋，氧化镨，氧化锑，氧化钒，氧化镍，氧化锌，氧化铁，氧化铬，氧化铜。
2. 氟化物：
氟化镁，氟化镱，氟化钇，氟化镝，氟化钕，氟化铒，氟化镝，氟化钾，氟化锶，氟化钐，氟化钕，氟化钠，氟化钡，氟化铈，。
3. 金属类：
高纯铝丝（5N），铬粒，铬条，金丝（片），银丝（柱、球，片），铂丝，铪丝、锆丝，碲（6N），锗（6N），钛粉（粒、柱、片、丝），镍粉（丝），镍铬（8020）合金。
灰色热反射膜合金，金红膜合金。
4. 混合料：
氧化锆氧化钛混合料，氧化锆氧化钽混合料，氧化钛氧化钽混合料，氧化锆氧化钇混合料，氧化钛氧化铌混合料，氧化锆氧化铝混合料，氧化镁氧化铝混合料，氧化铟氧化锡混合料，氧化锡氧化铟混合料，氟化铈氟化钙混合料。
5. 其他化合物：
钛酸钡，钛酸镨，钛酸锶，钛酸镧，硫化锌，冰晶石，硒化锌，硫化镉。
6. 辅料：
钼片，钼舟、钽片、钨片、钨舟、钨绞丝。
二、靶材（纯度：99.9%-99.999%）
1. 金属靶材：
镍靶、钛靶、铬靶、铝靶、锆铝靶、钛铝靶、锆靶、铝硅靶、硅靶、铜靶、钽靶、锗靶、银靶、钴靶、金靶、不锈钢靶、镍铬靶、铪靶、钼靶、硅靶、铁镍靶、铜靶、钨靶等
2. 陶瓷靶材：
ITO靶、氧化铝靶、氧化锌靶、氧化铝靶、硫化锌靶、硫化锌二氧化硅靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、氧化铌靶、氧化钛靶、五氧化二钽，五氧化二铌靶等
