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| 半导体激光干涉测量技术应用 |
| 2004-12-03
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半导体激光干涉测量技术应用
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光学干涉仪广泛应用于各种高精度测量领域，尤其是光学元件（如光纤连接器、透镜、棱镜等）、光盘等物体的表面形状，折射率分布及被测物体的振动和位移等物理量的高精度测量，它在高科技领域中发挥着重要的作用。但它的最大缺点是对测量环境的震动干扰非常敏感、一般测量需在笨重而昂贵的防震台上进行，无法在机械性噪音较严重的生产现场环境中使用。
而采用反馈技术的半导体激光有源干涉仪由于利用半导体激光器的激光发射频率随它的激励电流的变化而变化的特点，可以实现当干涉仪受到外部的震动影响时采取反馈技术而达到稳定干涉仪的目的，因此具有非常强的抗干扰能力（其抗震能力比传统干涉仪提高了五十倍至上百倍），且体积小、重量轻，移动方便，可在一般生产现场中使用，能对加工产品作在线检测，具有很大实用性和推广价值。
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